Лисюк Ігор Олександрович
Зондова установка для вимірювання електрофізичних характеристик напівпровідникових структур
Номер патенту: 19435
Опубліковано: 15.12.2006
Автори: Сизов Федір Федорович, Лисюк Ігор Олександрович, Андрєєва Катерина Вікторівна, Гузенко Генадій Олексійович
МПК: G01R 1/00
Мітки: електрофізичних, зондова, структур, вимірювання, характеристик, установка, напівпровідникових
Формула / Реферат:
Зондова установка для вимірювання електрофізичних характеристик напівпровідникових структур, що складається з станини, П-подібного кронштейна з закріпленим на ньому мікроскопом, координатного столика, розташованого під мікроскопом, двох приводів горизонтального переміщення і приводу вертикального переміщення координатного столика і зондів, що забезпечують електричні контакти з елементами, що тестуються, яка відрізняється тим, що установка...