Авраменко Сергій Федорович
Спосіб вирощування зливків кристалів карбіду кремнію
Номер патенту: 68293
Опубліковано: 15.07.2004
Автори: Авраменко Сергій Федорович, Маслов Володимир Петрович, Саворовський Федір Григорович, Кисельов Віталій Семенович
МПК: H01L 21/205, H01L 21/36
Мітки: спосіб, кристалів, кремнію, зливків, вирощування, карбіду
Формула / Реферат:
Спосіб вирощування зливків монокристалів карбіду кремнію, що включає завантаження в графітовий реактор порошку сировини карбіду кремнію, закріплення на графітовому тримачі затравочного кристала карбіду кремнію, вакуумування, напуск інертного газу, нагрівання вихідного матеріалу до температури сублімації карбіду кремнію 22502350°С, а затравочного кристала - до температури...