Базарний Юрій Олексійович

Номер патенту: 2693

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Болтовець Микола Силович, Кутас Віталій Георгійович, Базарний Юрій Олексійович, Руденко Ольга Василівна, Сидоренко Сергій Іванович, Макогон Юрій Миколайович

МПК: H01L 21/28

Мітки: металізації, виготовлення, багатошарової, спосіб, контактної

Формула / Реферат:

Способ изготовления многослойной контакт­ной металлизации, включающий нанесение на кремниевую подложку слоя палладия и слоя золо­та, отличающийся тем, что, с целью повышения длинновременной стабильности параметров ме­таллизации, между кремниевой подложкой и сло­ем палладия осаждают барьерный слой вольфрама с добавкой рения 15—27% толщиной 0,15— 0,5 мкм.