Білоган Ярослав Михайлович
Спосіб створення захисту поверхні інтегральної схеми з алюмінієвою металізацією
Номер патенту: 11380
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Гнип Микола Дмитрович, Новосядлий Степан Петрович, Білоган Ярослав Михайлович
МПК: H01L 23/48
Мітки: захисту, поверхні, створення, спосіб, інтегральної, алюмінієвою, металізацією, схемі
Формула / Реферат:
Способ создания защиты поверхности интегральной схемы с алюминиевой металлизацией, включающий последовательное формирование на поверхности интегральной схемы пленки фосфоросиликатного стекла и нанесение пленки нитрида кремния магнетронним распылением кремния в среде азота, отличающийся тем, что с целью повышения выхода годных и надежности интегральной схемы, предварительно на алюминиевой металлизации осуществляют формирование...