Гнип Микола Дмитрович
Спосіб створення захисту поверхні інтегральної схеми з алюмінієвою металізацією
Номер патенту: 11380
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Гнип Микола Дмитрович, Білоган Ярослав Михайлович, Новосядлий Степан Петрович
МПК: H01L 23/48
Мітки: схемі, металізацією, захисту, спосіб, алюмінієвою, поверхні, інтегральної, створення
Формула / Реферат:
Способ создания защиты поверхности интегральной схемы с алюминиевой металлизацией, включающий последовательное формирование на поверхности интегральной схемы пленки фосфоросиликатного стекла и нанесение пленки нитрида кремния магнетронним распылением кремния в среде азота, отличающийся тем, что с целью повышения выхода годных и надежности интегральной схемы, предварительно на алюминиевой металлизации осуществляют формирование...