Чебаненко Анатолій Павлович
Спосіб виготовлення плівок халькогенідів металів, наприклад сульфіду цинку на підкладці
Номер патенту: 16124
Опубліковано: 17.07.2006
Автори: Чебаненко Анатолій Павлович, Чемересюк Георгій Гаврилович, Турецький Олександр Євстафійович
МПК: C01G 11/00, C01G 9/00, H01L 21/205 ...
Мітки: цинку, підкладці, металів, наприклад, сульфіду, спосіб, виготовлення, плівок, халькогенідів
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення плівок халькогенідів металів, наприклад сульфіду цинку на підкладці, який полягає в тому, що всередині проточного реактора розміщують на вході кювету з хелатною металоорганічною сполукою, а на виході - підкладку, потім пропускають через проточний реактор газ-носій, після чого нагрівають кювету до температури випаровування хелатної металоорганічної сполуки, а її пари за допомогою газу-носія транспортують до підкладки,...