Циганова Ганна Іскаковна
Розчин для травлення силіцидів кобальту на основі з арсеніду галію
Номер патенту: 9581
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Ільченко Василь Васильович, Тарасенко Сергій Олегович, Циганова Ганна Іскаковна, Шевчук Петро Павлович
Мітки: основі, травлення, галію, кобальту, розчин, арсеніду, силіцидів
Формула / Реферат:
Розчин для травлення силіцидів кобальту на основі арсеніду галію, що містить фтористоводневу і азотну кислоти, який відрізняється тим, що розчин додатково містить ортофосфорну і отцову кислоти при такому співвідношенні інгредієнтів, мас. %: фтористоводнева кислота Н 2F2 (пит. вага 1,14) 35—45 азотна кислота НNОз (пит. вага...