Ільченко Василь Васильович

Номер патенту: 64151

Опубліковано: 16.02.2004

Автори: Грінченко Віктор Тимофійович, Кравченко Олександр Іванович, Ільченко Василь Васильович

МПК: G01N 27/00, G01N 7/00

Мітки: детектування, пристрій, використання, газів, спосіб

Формула / Реферат:

1. Пристрій для детектування газів, що містить блок живлення, вимірювальний блок, комутатор, сенсор на основі гетеропереходу між напівпровідниками, який відрізняється тим, що останній являє собою структуру на основі ізотипного або анізотипного гетеропереходу, а вимірювальний блок додатково складається з електронного ключа, керуючого ним та комутатором генератора затриманих імпульсів, генераторів несучої частоти та її модуляції, блока...

Номер патенту: 18067

Опубліковано: 17.06.1997

Автори: Кузнецов Геннадій Васильович, Стріха Віталій Ілларіонович, Ільченко Василь Васильович, Білоусов Ігор Володимирович

МПК: H01L 39/12, H01L 39/24

Мітки: плівки, спосіб, надпровідної, кремнії, виготовлення, оксидної

Формула / Реферат:

Способ изготовления сверхпроводящей оксидной пленки на кремнии, предусматривающий предварительное формирование на поверхности кремниевой подложки буферного слоя с последующим нанесением на него сверхпроводящей пленки, отличающийся тем, что буферный слой формируют путем нанесения на поверхность кремниевой подложки слоя оксида бария с последующей выдержкой при температуре 730-750°С в течение 1,5-2 часов.

Номер патенту: 9581

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Тарасенко Сергій Олегович, Циганова Ганна Іскаковна, Ільченко Василь Васильович, Шевчук Петро Павлович

МПК: C23F 1/10, B81C 1/00

Мітки: кобальту, силіцидів, арсеніду, галію, основі, розчин, травлення

Формула / Реферат:

Розчин для травлення силіцидів кобальту на основі арсеніду галію, що містить фтористоводневу і азотну кислоти, який відрізняється тим, що розчин додатково містить ортофосфорну і отцову кислоти при такому співвідношенні інгредієнтів, мас. %:            фтористоводнева            кислота Н 2F2 (пит. вага 1,14)                  35—45             азотна кислота НNОз           (пит. вага...

Номер патенту: 5388

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Шевчук Петро Павлович, Тарасенко Сергій Олегович, Ільченко Василь Васильович

МПК: C23F 1/10, B81C 1/00

Мітки: силіцидів, травлення, металів, розчин

Формула / Реферат:

Раствор для травления силицидов металлов, преимущественно, для размерного, травления силицидов титана и молибдена на кремниевой основе, содержащий уксусную кислоту, фторидионы, окислитель и воду, отличающийся тем, что он дополнительно содержит ортофосфорную кислоту, в качестве фторидионов-фтористоводородную кислоту, а в качестве окислителя - азотную кислоту, при следующем соотношении ингредиентов (мас. %): Фтористоводородная...