Д’яковський Олег Володимирович

Номер патенту: 9295

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Д'яковський Олег Володимирович, Борщов В'ячеслав Миколайович, Клембек Сергій Петрович, Буєров Геннадий Васильович

МПК: G01L 9/04, H01L 29/84

Мітки: теhзоперетворювач, hапівпровідhиковий

Формула / Реферат:

Полупроводниковый тензопреобразователь, содержащий подложку одного типа проводимости, сформированные в ней тензорезистивные области второго типа проводимости, выполненные в виде сплошного зигзагообразного резистивного слоя прямоугольной формы, подзатворный диэлектрик, управляющие электроды и электроды питания, отличающийся тем, что, с целью повышения чув­ствительности, приконтактные области располо­жены с двух сторон вдоль торцовых участков...