Єгоренко Володимир Дмитрович
Пристрій для контролю процесу травлення покриттів
Номер патенту: 5772
Опубліковано: 29.12.1994
Автори: Єгоренко Володимир Дмитрович, Фареник Володимир Іванович, Будянський Олександр Михайлович, Івановський Геннадій Хомич, Федоров Микола Миколаєвич, Крячко Юрій Петрович, Демченко Петро Васильович
МПК: C23C 14/54
Мітки: пристрій, контролю, процесу, травлення, покриттів
Формула / Реферат:
1. Устройство для контроля процесса травле-ния покрытий, содержащее систему измерительных электродов и подложкодержатель, размещенные в зоне разряда, откачной патрубок и блок контроля, электрически соединенный с системой измерительных электродов, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля процесса травления покрытий за счет исключения фонового сигнала, система измерительных электродов выполнена в виде трех зондов,...