Крячко Юрій Петрович
Пристрій для контролю процесу травлення покриттів
Номер патенту: 5772
Опубліковано: 29.12.1994
Автори: Будянський Олександр Михайлович, Федоров Микола Миколаєвич, Єгоренко Володимир Дмитрович, Демченко Петро Васильович, Крячко Юрій Петрович, Івановський Геннадій Хомич, Фареник Володимир Іванович
МПК: C23C 14/54
Мітки: покриттів, пристрій, процесу, контролю, травлення
Формула / Реферат:
1. Устройство для контроля процесса травле-ния покрытий, содержащее систему измерительных электродов и подложкодержатель, размещенные в зоне разряда, откачной патрубок и блок контроля, электрически соединенный с системой измерительных электродов, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля процесса травления покрытий за счет исключения фонового сигнала, система измерительных электродов выполнена в виде трех зондов,...