Еванс Джон Дуглас Ср.
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази
Номер патенту: 71924
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: Вортмен Девід Джон, Еванс Джон Дуглас Ср., Бетшер Кейт Хамфріс, Лагеманн Кристофер Лі, Віллен Вілліам Сез, Вігв'є Рудольфо, Брюс Роберт Вілліам, Рігні Девід Вінсент, Марікоккі Антоніо Френк
МПК: C23C 14/54, C23C 14/30, H01J 37/30 ...
Мітки: електронно-променевий, парової, пристрій, конденсацією, фазі, нанесення, покриття
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...