Еванс Джон Дуглас Ср.
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази
Номер патенту: 71924
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: Віллен Вілліам Сез, Еванс Джон Дуглас Ср., Бетшер Кейт Хамфріс, Брюс Роберт Вілліам, Вігв'є Рудольфо, Марікоккі Антоніо Френк, Вортмен Девід Джон, Лагеманн Кристофер Лі, Рігні Девід Вінсент
МПК: H01J 37/30, C23C 14/30, C23C 14/54 ...
Мітки: покриття, пристрій, електронно-променевий, фазі, конденсацією, парової, нанесення
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...