Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція електронно-променевої гармати полягає в розплавленні покривного матеріалу (26) та випаровуванні розплавленого покривного матеріалу (26), засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12) для осаджування парів покривного матеріалу (26) на виробі (20), конденсаційну бленду (52), яка розташована в покривній камері (12) та принаймні частково оточує підтримуючі засоби (22), причому конденсаційна бленда (52) має першу відбивальну деталь (72), розташовану в покривній камері (12) таким чином, щоб виріб (20), підтримуваний засобами підтримки (22), був розташований між розплавленим покривним матеріалом (26) та першою відбивальною деталлю (72), яка має можливість пересуватись між першою та другою позиціями відносно розплавленого покривного матеріалу, при цьому перша позиція розташована ближче до засобів підтримки (22), ніж друга настільки, щоб піддати виріб (20), підтримуваний засобами підтримки (22), відбивальному нагріванню від розплавленого покривного матеріалу (26) більшою мірою при розташуванні першої відбивальної деталі (72) в першій позиції, ніж при її розташуванні в другій позиції, та засоби (74) для пересування першої відбивальної деталі (72) відносно конденсаційної бленди (52).

2. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає бандаж (75), що оточує першу відбивальну пластину (72) в її другій позиції та послаблює потік газу між конденсаційною блендою (52) та відбивальною деталлю (72).

3. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає засоби керування (118) відсуванням першої відбивальної деталі (72) від покривного матеріалу (26) при зростанні температури в покривній камері (12).

4. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що додатково включає другу відбивальну деталь (80), розташовану суміжно з розплавленим покривним матеріалом (26) для можливості піддання виробу (20), підтримуваного засобами підтримки (22), відбивальному нагріванню від відбивальної деталі (80).

5. Електронно-променевий пристрій за п. 4, який відрізняється тим, що додатково включає засоби (77) для пересування відбивальної деталі (80) до розплавленого покривного матеріалу (26) та від нього таким чином, щоб збільшити або зменшити, відповідно, відбивальне нагрівання виробу (20) від відбивальної деталі (80).

6. Електронно-променевий пристрій за п. 5, який відрізняється тим, що друга відбивальна деталь (80) виконана повністю із керамічного матеріалу або вкрита ним.

7. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що конденсаційна бленда (52) додатково включає отвір (62), крізь який проходить електронний промінь (28) та площа поперечного перерізу якого приблизно дорівнює площі поперечного перерізу форми, визначеної електронним променем (28) в місці перехрещування із конденсаційною блендою (52).

8. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що конденсаційна бленда виконана рідинно-охолоджувальною.

9. Електронно-променевий пристрій за п. 1, який відрізняється тим, що конденсаційна бленда додатково включає принаймні один екран (76), знімно прикріплений до конденсаційної бленди (52).