Віллен Вілліам Сез
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази
Номер патенту: 71924
Опубліковано: 17.01.2005
Автори: Віллен Вілліам Сез, Рігні Девід Вінсент, Лагеманн Кристофер Лі, Вігв'є Рудольфо, Вортмен Девід Джон, Брюс Роберт Вілліам, Марікоккі Антоніо Френк, Бетшер Кейт Хамфріс, Еванс Джон Дуглас Ср.
МПК: H01J 37/30, C23C 14/30, C23C 14/54 ...
Мітки: фазі, електронно-променевий, парової, пристрій, нанесення, конденсацією, покриття
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...
Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття на вироби конденсацією із парової фази
Номер патенту: 71572
Опубліковано: 15.12.2004
Автори: Брюс Роберт Вілліам, Еванс Джон Дуглас, старший, Марікоккі Антоніо Френк, Вортмен Девід Джон, Рігні Девід Вінсент, Вігв'є Рудольфо, Віллен Вілліам Сез
МПК: C23C 14/24, C23C 14/30, C23C 14/56 ...
Мітки: парової, вироби, покриття, нанесення, електронно-променевий, фазі, конденсацією, пристрій
Формула / Реферат:
1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на вироби (20) конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера (12) функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву пушку (30) для проектування електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), тигель (56), який підтримує...