Ганієв Рев Вахізович
Спосіб виготовлення мішеней з дисиліцидів перехідних металів
Номер патенту: 11386
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Лиходід Людмила Семенівна, Кудь Ірина Володимирівна, Єрьоменко Людмила Іванівна, Дворіна Людмила Андріївна, Ганієв Рев Вахізович
МПК: C23C 14/32
Мітки: спосіб, дисиліцидів, металів, перехідних, мішеней, виготовлення
Формула / Реферат:
Способ изготовления мишеней из дисиллицидов переходных металлов, преимущественно для ионно-плазменного распыления, включающий смешивание порошков исходных компонентов, холодное прессование смеси и спекание-синтез, повторное измельчение продуктов синтеза и получение мишени путем прессования и спекания измельченных продуктов синтеза, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества мишеней за счет уменьшения пористости и содержания газовых...