Єрьоменко Людмила Іванівна

Номер патенту: 11386

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Кудь Ірина Володимирівна, Єрьоменко Людмила Іванівна, Дворіна Людмила Андріївна, Лиходід Людмила Семенівна, Ганієв Рев Вахізович

МПК: C23C 14/32

Мітки: спосіб, дисиліцидів, мішеней, металів, перехідних, виготовлення

Формула / Реферат:

Способ изготовления мишеней из дисиллицидов переходных металлов, преимущественно для ионно-плазменного распыления, включающий смешивание порошков исходных компонентов, хо­лодное прессование смеси и спекание-синтез, по­вторное измельчение продуктов синтеза и получение мишени путем прессования и спекания измельченных продуктов синтеза, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества мишеней за счет уменьшения пористости и содержания газо­вых...

Номер патенту: 11394

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Кудь Ірина Володимирівна, Шпилевський Едуард Михайлович, Дворіна Людмила Андріївна, Волкова Ольга Олександрівна, Єрьоменко Людмила Іванівна, Ганієв Рев Вазіхович

МПК: H01C 7/00

Мітки: матеріал, виготовлення, тонкоплівкових, резисторів

Формула / Реферат:

Материал для изготовления тонкопленочных резисторов, включающий кремний, хром, марга­нец, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного сопротивления в высокоомную область, исходные компоненты взя­ты в следующем количественном соотношении, мас.%:хром               35,0-43,4марганец        5,1-14,4кремний         остальное.