Глушков Євгеній Олександрович
Спосіб контролю однорідності напівпровідників
Номер патенту: 43935
Опубліковано: 15.01.2002
Автори: Малютенко Володимир Костянтинович, Омеляновській Еразм Михайлович, Морозов Володимир Олексійович, Болгов Сергій Семенович, Мороженко Василій Олександрович, Глушков Євгеній Олександрович
МПК: H01L 21/66
Мітки: контролю, напівпровідників, однорідності, спосіб
Формула / Реферат:
Формула изобретения1. Способ контроля однородности полупроводников, включающий изготовление пластины полупроводника толщиной 1, определяемой соотношением a×1<<1, где a - коэффициент поглощения излучения на свободных носителях заряда, отличающийся тем, что, с целью повышения экспрессности при сохранении высокой точности, пластину нагревают до температуры выше фоновой, регистрируют тепловое изображение образца и по...