Морозов Володимир Олексійович
Спосіб контролю однорідності напівпровідників
Номер патенту: 43935
Опубліковано: 15.01.2002
Автори: Болгов Сергій Семенович, Омеляновській Еразм Михайлович, Глушков Євгеній Олександрович, Морозов Володимир Олексійович, Малютенко Володимир Костянтинович, Мороженко Василій Олександрович
МПК: H01L 21/66
Мітки: контролю, спосіб, напівпровідників, однорідності
Формула / Реферат:
Формула изобретения1. Способ контроля однородности полупроводников, включающий изготовление пластины полупроводника толщиной 1, определяемой соотношением a×1<<1, где a - коэффициент поглощения излучения на свободных носителях заряда, отличающийся тем, что, с целью повышения экспрессности при сохранении высокой точности, пластину нагревают до температуры выше фоновой, регистрируют тепловое изображение образца и по...