Громко Євген Дмитрович
Спосіб створення омічних контактів до напівпровідникових матеріалів
Номер патенту: 69106
Опубліковано: 25.04.2012
Автори: Грицюк Богдан Миколайович, Громко Євген Дмитрович, Нічий Сергій Васильович
МПК: H01L 21/263
Мітки: спосіб, створення, омічних, напівпровідникових, матеріалів, контактів
Формула / Реферат:
Спосіб створення омічних контактів до напівпровідникових матеріалів, шляхом обробки поверхні напівпровідника імпульсним лазерним випромінюванням, який відрізняється тим, що в область формування контакту попередньо наносять розчин солі металу, робота виходу електрона якого забезпечує омічний контакт з напівпровідником, після чого проводять обробку даної області поверхні імпульсним лазерним випромінюванням з енергією, яка забезпечує проплавку...