H01L 29/417 — пропускають випрямляти, підсилюваний або перемикається ток
Газовий сенсор на основі наноструктурованого оксиду вольфраму
Номер патенту: 96833
Опубліковано: 25.02.2015
Автори: Горбанюк Тетяна Іванівна, Литовченко Володимир Григорович, Солнцев В'ячеслав Сергійович
МПК: B82Y 30/00, H01L 21/00, H01L 29/66, H01L 29/417 ...
Мітки: газовий, сенсор, основі, оксиду, наноструктурованого, вольфраму
Формула / Реферат:
Газовий сенсор на основі наноструктурованого оксиду вольфраму, що містить газочутливу плівку оксиду вольфраму, нанесену на підкладку, та електроди, який відрізняється тим, що використано нанорозмірну та наноструктуровану плівку оксиду вольфраму товщиною 20-100 нм і з середнім розміром зерен 30-150 нм, при цьому газовий сенсор працює при кімнатних температурах, а відгук сенсора на дію газу реєструють по вимірюванню поперечного...