Кутовий Ігор Васильович

Номер патенту: 3674

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Кутовий Ігор Васильович, Живов Михайло Давидович, Богданов Євген Іванович, Шурдук Борис Костянтинович

МПК: H01L 21/306

Мітки: виготовлення, пластин, кремнійових, спосіб

Формула / Реферат:

Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление в селективном кислотном травителе на глубину 0,4-0,8 диаметра зерна абразивного порошка, применяемого при шлифовке, и полировку рабочей поверхности пластин, отличающийся тем, что после травления на обе стороны кремниевых пластин наносят пленку поликремния толщиной 0,4-3 мкм, производят термообработку в диапазоне температур 900-1000°С в инертной среде в...