Шурдук Борис Костянтинович

Номер патенту: 13051

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Кутовой Ігор Васильович, Шурдук Борис Костянтинович, Пундик Степан Васильович

МПК: H01L 21/22

Мітки: мдн-транзисторів, виготовлення, основі, мікросхем, спосіб

Формула / Реферат:

(57) Способ изготовления микросхем на основе МДП-транзисторов, включающий химическую обработку пластин кремния, окисление, фотолитографию, диффузию примеси в областях стоков и истоков, отличающийся тем, что после формирования маскирующего окисла проводят контроль изменения удельного сопротивления пластины кремния, и диффузию примеси проводят при температуре окисления на глубину, определяемую выражением

Номер патенту: 3674

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Шурдук Борис Костянтинович, Кутовий Ігор Васильович, Богданов Євген Іванович, Живов Михайло Давидович

МПК: H01L 21/306

Мітки: виготовлення, спосіб, кремнійових, пластин

Формула / Реферат:

Способ изготовления кремниевых пластин, включающий резку, двустороннюю шлифовку, травление в селективном кислотном травителе на глубину 0,4-0,8 диаметра зерна абразивного порошка, применяемого при шлифовке, и полировку рабочей поверхности пластин, отличающийся тем, что после травления на обе стороны кремниевых пластин наносят пленку поликремния толщиной 0,4-3 мкм, производят термообработку в диапазоне температур 900-1000°С в инертной среде в...