Литвинов Ренальд Олімпійович
Спосіб зменшення густини поверхневих станів межі розділу кремній-двоокис кремнію
Номер патенту: 7563
Опубліковано: 29.09.1995
Автори: Литвинов Ренальд Олімпійович, Лісовський Ігор Петрович, Литовченко Володимир Григорович
МПК: H01L 21/265
Мітки: станів, густини, зменшення, спосіб, кремній-двоокис, поверхневих, межі, кремнію, розділу