Спосіб зменшення густини поверхневих станів межі розділу кремній-двоокис кремнію

Номер патенту: 1564

Опубліковано: 25.07.1994

Автори: Богданов Євген Іванович, Живов Михайло Давидович, Дубина Віктор Григорович, Карплюк Олександр Іванович

МПК: H01L 21/318

Мітки: кремнію-нітрід, структур, кремній-двоокис, виготовлення, спосіб, кремнію

Формула / Реферат:

Способ получения структур кремний - дву­окись кремния - нитрид кремния, включающий осаждение на структуры кремний-двуокись кремния пленки нитрида кремния из парогазовой смеси тетрахлорида кремния, аммиака и инертного газа при пониженном давлении, отжиг структур после осаждения пленки нитрида кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения элек­трофизических параметров структур за счет увеличения уровней записи и стирания инфор­мации, отжиг...

Номер патенту: 7562

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Романюк Борис Миколайович, Шаповалов Віталій Павлович, Думбров Володимир Іванович, Марченко Ростислав Іванович, Жолудєв Геннадій Кузьмич, Литовченко Володимир Григорович

МПК: H01J 37/30, H01L 21/265

Мітки: одержання, кремнію, автоепітаксіальних, шарів, спосіб

Формула / Реферат:

Способ получения автоэпитаксиальных сло­ев кремния, включающий формирование на рабо­чей поверхности подложек маски, имплантацию ионов в немаскированные участки подложки, уда­ление маски, эпитаксиальное наращивание, отли­чающийся тем, что, с целью улучшения качества автоэпитаксиальных слоев кремния за счет подавления процесса распространения дефектов из геттерируювдих областей в рабочие участки ав-тоэпитаксиальных слоев, имплантацию...

Номер патенту: 1774

Опубліковано: 25.10.1994

Автори: Александров Євген Веніамінович, Бабій Ігор Євгенович, Молчанов Костянтин Вікторович, Ілюк Ігор Євгенович, Сьома Богдан Дмитрович

МПК: H01L 21/306

Мітки: шарів, поверхневих, пластин, обробки, напівпровідникових, спосіб

Формула / Реферат:

Способ обработки поверхностных слоев полупроводниковых пластин, включающий установку рабочих полупроводниковых пластин на одинаковом расстоянии одна от другой в кассету, установку перед первой и после последней рабочими пластинами балластных пластин на том же расстоянии и последующую обработку, отличающийся тем. что в качестве балластных используют пластины, на поверхность которых нанесен обрабатываемый слой в едином цикле с рабочими...

Номер патенту: 1912

Опубліковано: 20.12.1994

Автори: Стефанов Олександр Вікторович, Юхимець Володимир Олексійович, Кондратюк Володимир Йосипович, Міняйленко Тамара Данилівна, Пожаров Віталій Петрович, Зубаренко Олександр Всеволодович, Середенко Михайло Михайлович, Радіонов Борис Васильович, Лінник Микола Іванович, Лишко Валерій Казимірович, Розова Катерина Всеволодівна, Бригинський Сергій Олександрович

МПК: A61K 31/685, A61K 9/12

Мітки: станів, експерименті, гіпоксичних, спосіб, профілактики, лікування

Формула / Реферат:

Способ профилактики и лечения гипоксических состояний в эксперименте путем ингаляторного введения лечебных средств, отличающийся тем, что вводят аэрозоль 0,5-5 % суспензии фосфатидилхолина в физиологическом растворе в дозе 10-25 мг/мг массы тела лабораторного животного ежесуточно в течение 4-5 суток.

Номер патенту: 3451

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Самченко Микола Петрович, Герич Олександра Прокофіївна, Артюх Юрій Миколайович, Слива Тетяна Юріївна, Алчеєв Ігор Савелійович, Ільїн Володимир Георгійович, Леонов Валерій Євгенійович, Бобонич Федір Михайлович

МПК: C07C 43/04, C07C 41/00, C07C 43/02, B01J 29/00

Мітки: ефіру, спосіб, одержання, диметилового