Маниліч Михайло Іванович
Спосіб одержання фоточутливих епітаксійних шарів твердих розчинів телуридів свинцю і олова, легованих індієм
Номер патенту: 92377
Опубліковано: 25.10.2010
Автори: Водоп'янов Володимир Миколайович, Маниліч Михайло Іванович, Кондратенко Максим Максимович
МПК: C30B 23/02, H01L 21/203
Мітки: одержання, легованих, фоточутлівих, шарів, олова, телуридів, індієм, спосіб, свинцю, розчинів, твердих, епітаксійних
Формула / Реферат:
Спосіб одержання фоточутливих епітаксійних шарів твердих розчинів телуридів свинцю і олова, легованих індієм, який включає випаровування матеріалу джерела пари у вакуумі і вирощування методом гарячої стінки епітаксійних шарів на сколотій в кристалографічній площині (111) підкладці з фториду барію, який відрізняється тим, що для випаровування беруть матеріал хімічного складу (Рb1-xSnх)1-уІnуТе1+d, де 0,34 £ х £ 0,35, 0,015 £...