Марущенко Микола Борисович
Спосіб обробки поверхонь діелектричних мішеней в вакуумі
Номер патенту: 5770
Опубліковано: 29.12.1994
Автори: Марущенко Микола Борисович, Юнаков Микола Миколайович, Зиков Олександр Володимирович, Фареник Володимир Іванович, Качанов Юрій Олександрович
МПК: C23C 14/00
Мітки: обробки, діелектричних, спосіб, вакуумі, поверхонь, мішеней
Формула / Реферат:
Способ обработки поверхностей диэлектрических мишеней в вакууме, включающий бомбардировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода - нейтрализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода - нейтрализатора подают положительный потенциал j [В], выбираемый из...