Матусевич Едуард Іванович

Номер патенту: 11369

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Матусевич Едуард Іванович, Андреєва Ася Фантинівна, Порицький Марк Львович

МПК: G03F 7/26, G03C 5/00

Мітки: фотошаблон, спосіб, виготовлення

Формула / Реферат:

1. Фотошаблон, содержащий прозрачную для актиничного излучения подложку с маскирующим слоем на ее поверхности, содержащим прозрачные участки и непрозрачные, выполненные из оксида празсодима в соответствии с топологическим ри­сунком, отличающийся тем, что, с целью повыше­ния износостойкости фотошаблона и улучшения его оптических характеристик, прозрачные участ­ки маскирующего слоя выполнены из полуторного окисла празеодима.2. Способ...