Михалюк Ольга В’ячеславівна
Спосіб гетерування кисневмісних домішок у кремнії
Номер патенту: 48795
Опубліковано: 12.04.2010
Автори: Михалюк Ольга В'ячеславівна, Новиков Микола Миколайович, Теселько Петро Олексійович
МПК: H01L 21/02
Мітки: кисневмісних, домішок, спосіб, гетерування, кремнії
Формула / Реферат:
Спосіб гетерування кисневмісних домішок у кремнії, що включає відпал пластин у температурній області їх кисневого пересичення, який відрізняється тим, що пластини вводять в напружений стисканням стан, після чого здійснюють їх відпал при температурі 500-700 °С.