Мілєнін Григорій Володимирович
Спосіб зниження внутрішніх механічних напружень в епітаксійній структурі gan/al2o3
Номер патенту: 103985
Опубліковано: 12.01.2016
Автори: Мілєнін Григорій Володимирович, Мілєнін Віктор Володимирович, Швалагін Віталій Васильович, Редько Світлана Миколаївна, Конакова Раїса Василівна, Редько Роман Анатолійович
МПК: H01L 21/00, G01R 13/00
Мітки: структури, зниження, епітаксійній, спосіб, внутрішніх, напружень, механічних
Формула / Реферат:
Спосіб зниження внутрішніх механічних напружень в епітаксійній структурі GaN/Аl2О3, що здійснюють зовнішньою обробкою, який відрізняється тим, що контрольовані структури піддають впливу імпульсного магнітного поля з індукцією 60-70 мТл, тривалістю імпульсу 1,0-4,0 мс, частотою слідування імпульсів 5-15 Гц і тривалістю дії на структури 7-9 хв.