Редько Світлана Миколаївна
Спосіб зниження внутрішніх механічних напружень в епітаксійній структурі gan/al2o3
Номер патенту: 103985
Опубліковано: 12.01.2016
Автори: Редько Світлана Миколаївна, Мілєнін Григорій Володимирович, Конакова Раїса Василівна, Редько Роман Анатолійович, Мілєнін Віктор Володимирович, Швалагін Віталій Васильович
МПК: G01R 13/00, H01L 21/00
Мітки: напружень, внутрішніх, структури, зниження, епітаксійній, спосіб, механічних
Формула / Реферат:
Спосіб зниження внутрішніх механічних напружень в епітаксійній структурі GaN/Аl2О3, що здійснюють зовнішньою обробкою, який відрізняється тим, що контрольовані структури піддають впливу імпульсного магнітного поля з індукцією 60-70 мТл, тривалістю імпульсу 1,0-4,0 мс, частотою слідування імпульсів 5-15 Гц і тривалістю дії на структури 7-9 хв.
Оптичний спосіб оцінки коефіцієнтів дифузії метастабільних точкових дефектів в епітаксійних структурах на основі gan
Номер патенту: 99230
Опубліковано: 25.05.2015
Автори: Конакова Раїса Василівна, Редько Роман Анатолійович, Редько Світлана Миколаївна, Швалагін Віталій Васильович, Мілєнін Віктор Володимирович
МПК: G01R 13/00
Мітки: структурах, метастабільних, епітаксійних, спосіб, дифузії, основі, оцінки, дефектів, точкових, коефіцієнтів, оптичний
Формула / Реферат:
Оптичний спосіб оцінки коефіцієнтів дифузії метастабільних точкових дефектів в епітаксійних структурах на основі GaN, що базується на вимірюванні оптичних спектрів, який відрізняється тим, що вимірюють спектри оптичного пропускання в інтервалі довжин хвиль 330-1100 нм і додатково вимірюють спектри фотолюмінесценції в інтервалі 350-600 нм, після чого контрольовані структури піддають впливу імпульсного магнітного поля з індукцією 40-80 мТл,...