Покроєв Анатолій Георгійович

Номер патенту: 6260

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Будянський Олександр Михайлович, Покроєв Анатолій Георгійович, Фареник Володимир Іванович, Плетньов Василь Максимович

МПК: C23F 1/00

Мітки: матеріалів, пристрій, травлення, плазмохімічного

Формула / Реферат:

1. Устройство для плазмохимического травления материалов, включающее диэлектриче­скую реакционную камеру, перфорированный металлический экранирующий элемент, подложкодержатель с пластиной, размещенный внутри реак­ционной камеры, отверстия для напуска и откачки газа и индуктор для возбуждения ВЧ-разряда, витки которого охватывают реакционную камеру, отлича­ющееся тем, что, с целью увеличения скорости трав­ления и повышения качества обработки...

Номер патенту: 5773

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Лебедєв Едуард Олександрович, Гомжин Іван Васильович, Єфремов Олександр Миколайович, Будянський Олександр Михайлович, Покроєв Анатолій Георгійович

МПК: H01L 21/306

Мітки: зняття, фоторезиста, плазмохімічного, плівок, спосіб

Формула / Реферат:

Способ плазмохимического удаления пленок фоторезиста с образцов, имеющих диэлектриче­ские слои, включающий непрерывный напуск ра­бочего газа и откачку продуктов реакции, активацию рабочего газа плазмой ВЧ-разряда, от­деление зоны активации газа от зоны обработки образца, размещение образца в зоне обработки в потоке активированного разрядом газа и удаление полимерной фоторезистивной пленки под действи­ем химически активных частиц, отличающийся...