Самохвалов Володимир Олександрович
Спосіб контролю діаметра монокристала кремнію, вирощуваного з розплаву
Номер патенту: 49104
Опубліковано: 16.09.2002
Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Самохвалов Володимир Олександрович, Берінгов Сергій Борисович
МПК: C30B 15/20
Мітки: діаметра, монокристала, розплаву, контролю, спосіб, кремнію, вирощуваного
Формула / Реферат:
1. Спосіб контролю діаметра монокристала кремнію, вирощуваного з розплаву, що включає регулювання температурних і швидкісних параметрів процесу вирощування за допомогою системи автоматичного регулювання діаметра, що має у своєму складі оптичний датчик з чутливим елементом, за допомогою якого реєструють зміну напрямку випромінювання від меніска стовпчика розплаву в підкристальній області під час вирощування монокристала, і визначення моменту...