Самохвалов Володимир Олександрович

Спосіб контролю діаметра монокристала кремнію, вирощуваного з розплаву

Завантаження...

Номер патенту: 49104

Опубліковано: 16.09.2002

Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Самохвалов Володимир Олександрович, Берінгов Сергій Борисович

МПК: C30B 15/20

Мітки: діаметра, монокристала, розплаву, контролю, спосіб, кремнію, вирощуваного

Формула / Реферат:

1. Спосіб контролю діаметра монокристала кремнію, вирощуваного з розплаву, що включає регулювання температурних і швидкісних параметрів процесу вирощування за допомогою системи автоматичного регулювання діаметра, що має у своєму складі оптичний датчик з чутливим елементом, за допомогою якого реєструють зміну напрямку випромінювання від меніска стовпчика розплаву в підкристальній області під час вирощування монокристала, і визначення моменту...