Куликовський Едуард Володимирович
Спосіб підготовки тигля для вирощування монокристалічного злитка за методом чохральського
Номер патенту: 77594
Опубліковано: 15.12.2006
Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Шифрук Олександр Сергійович, Шульга Юрій Григорович, Берінгов Сергій Борисович, Коломоєць Сергій Дмитрович
МПК: C30B 29/06, C30B 15/10
Мітки: злитка, монокристалічного, методом, спосіб, вирощування, тигля, підготовки, чохральського
Формула / Реферат:
1. Спосіб підготовки тигля для вирощування монокристалічного злитка за методом Чохральського, який включає формування барієвмісного покриття з гідроксиду барію на внутрішній і/або зовнішній поверхні нагрітого кварцового тигля, який відрізняється тим, що зазначене формування барієвмісного покриття здійснюють на поверхні кварцового тигля, нагрітого до температури 100-150 °С.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що формування...
Пристрій для вирощування монокристалів кремнію, екрануючий пристрій для нього і спосіб вирощування монокристалів кремнію за методом чохральського
Номер патенту: 72795
Опубліковано: 15.04.2005
Автори: Повстяний Володимир Григорович, Куликовський Едуард Володимирович, Шульга Юрій Григорович, Берінгов Сергій Борисович
МПК: C30B 35/00, C30B 15/02
Мітки: вирощування, нього, пристрій, методом, чохральського, монокристалів, кремнію, екрануючий, спосіб
Формула / Реферат:
1. Пристрій для вирощування монокристалів кремнію за методом Чохральського, який включає камеру вирощування монокристала з розташованим у ній тиглем для одержання розплаву і витягування з розплаву монокристала кремнію і екрануючий пристрій, розташований співвісно вирощуваному монокристалу, який відрізняється тим, що екрануючий пристрій виконано у вигляді подвійного екрана - внутрішнього і зовнішнього, при цьому зовнішній екран має форму, що...
Спосіб контролю діаметра монокристала кремнію, вирощуваного з розплаву
Номер патенту: 49104
Опубліковано: 16.09.2002
Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Самохвалов Володимир Олександрович, Берінгов Сергій Борисович
МПК: C30B 15/20
Мітки: контролю, спосіб, кремнію, монокристала, вирощуваного, діаметра, розплаву
Формула / Реферат:
1. Спосіб контролю діаметра монокристала кремнію, вирощуваного з розплаву, що включає регулювання температурних і швидкісних параметрів процесу вирощування за допомогою системи автоматичного регулювання діаметра, що має у своєму складі оптичний датчик з чутливим елементом, за допомогою якого реєструють зміну напрямку випромінювання від меніска стовпчика розплаву в підкристальній області під час вирощування монокристала, і визначення моменту...
Пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель
Номер патенту: 46145
Опубліковано: 15.05.2002
Автори: Куликовський Едуард Володимирович, Маковський Валерій Георгієвич, Повстяний Володимир Григорович, Берінгов Сергій Борисович, Клевець Сергій Григорович, Шульга Юрій Григорович
МПК: C30B 15/02
Мітки: повторного, завантаження, пристрій, тигель, матеріалу
Формула / Реферат:
1. Пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель, що включає резервуар, підтримуючі елементи, розташовані в нижньому торці резервуара, і вузол кріплення резервуара до механізму переміщення, який відрізняється тим, що додатково містить фіксуюче кільце, що розташовано зовні резервуара і жорстко зв'язано з ним, при цьому резервуар постачено днищем, що відчиняється, а вузол кріплення резервуара виконано у вигляді послідовно з'єднаних...