Скробач Ірина Ярославівна

Номер патенту: 67968

Опубліковано: 15.07.2004

Автори: Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Степан Петрович, Скробач Ірина Ярославівна

МПК: H01L 21/306

Мітки: плазмохімічного, травлення, полікремнію, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб плазмохімічного травлення полікремнію, що включає технологічні операції формування фотокопії: хімічну обробку підкладок в парах гексаметилдисалазану, нанесення плівки фоторезисту, його сушіння і експонування, проявлення заекспонованих областей, дублення плівки резисту, плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що процес травлення проводиться в суміші газів, до складу якої входять: травильний газ SF6, галогеновмісний газ,...