Патенти з міткою «полікремнію»

Номер патенту: 87386

Опубліковано: 10.02.2014

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Варварук Василь Миколайович, Кіндрат Тарас Петрович, Мельник Любомир Васильович

МПК: B81C 1/00

Мітки: спосіб, полікремнію, травлення, плазмохімічного

Формула / Реферат:

1. Спосіб плазмохімічного травлення полікремнію, що включає технологічні операції формування фотокопії: хімічну обробку підкладок в парах гексаметилдисалазану, нанесення плівок фоторезисту, його сушку і експонування, проявлення експонованих областей, задублення плівки резисту плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що процес травлення проводиться в суміші газів, в склад якої входить: травильний газ SF6, галогеновмістимий газ, який...

Номер патенту: 67968

Опубліковано: 15.07.2004

Автори: Бережанський Володимир Михайлович, Скробач Ірина Ярославівна, Новосядлий Степан Петрович

МПК: H01L 21/306

Мітки: спосіб, плазмохімічного, полікремнію, травлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб плазмохімічного травлення полікремнію, що включає технологічні операції формування фотокопії: хімічну обробку підкладок в парах гексаметилдисалазану, нанесення плівки фоторезисту, його сушіння і експонування, проявлення заекспонованих областей, дублення плівки резисту, плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що процес травлення проводиться в суміші газів, до складу якої входять: травильний газ SF6, галогеновмісний газ,...