Тетяненко Микола Петрович

Номер патенту: 120005

Опубліковано: 25.10.2017

Автори: Снопок Борис Анатолійович, Кушнеров Іван Дмитрович, Громашевський Вячеслав Львович, Тетяненко Микола Петрович

МПК: G01N 27/30, G01N 35/00

Мітки: аналізу, газового, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій газового аналізу, що містить чутливий елемент, що складається з двох, розташованих паралельно одна одній, пластин з проміжком між ними, перша пластина чутливого елемента є п'єзоелектричною, на її внутрішній поверхні розташований вхідний зустрічно-штировий перетворювач, а між пластинами встановлені вхідний і вихідний порти, пристрій також містить джерело газу носія, вхід управління, пневматичний вихід якого підключені, відповідно, до...

Номер патенту: 7561

Опубліковано: 29.09.1995

Автори: Тетяненко Микола Петрович, Костильов Віталій Петрович, Литовченко Володимир Григорович, Громашевський Вячеслав Львович, Іваницький Олег Петрович, Горбань Анатолій Петрович

МПК: H01L 21/304

Мітки: структур, обробки, кремнію, кремній-двоокис, спосіб

Формула / Реферат:

Способ обработки структур кремний-дву­окись кремния, включающий операцию измене­ния параметров дефектов, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости, энергоемко­сти процесса и повышения качества, изменение параметров дефектов производят путем возбужде­ния в структурах ультразвуковых колебаний с ча­стотой 0,1 - 60 МГц, интенсивностью 0,5-7 Вт/см2 в течение 5-30 мин при температуре структуры не более 1000С.