Тутик Валерій Анатолієвич
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок
Номер патенту: 96809
Опубліковано: 25.02.2015
Автори: Ян Хайян, Таран Олександр Юрійович, Тутик Валерій Анатолієвич, Гасик Михайло Іванович, Гречанюк Микола Іванович, Ян Міншен, Овчарук Дмитро Сергійович, Патяка В'ячеслав Олексійович, Овчарук Анатолій Миколайович, Ліу Йонг, Фільов Олександр Сергійович
МПК: C01B 33/037, C30B 13/16, C30B 13/00 ...
Мітки: кремнію, спосіб, очищення, шкідливих, домішок
Формула / Реферат:
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок, що включає розігрів неочищеного кремнію на першому етапі при тиску нижче атмосферного до утворення розплаву з використанням висококонцентрованого джерела енергії та обробку газовою сумішшю, яка включає інертний газ, відновлювальний газ та пари води, обробку поверхні розплаву електронним променем на другому етапі, який відрізняється тим, що здійснюють третій етап очищення, на якому проводять...