C30B 13/16 — нагрівання розплавленої зони
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок
Номер патенту: 96809
Опубліковано: 25.02.2015
Автори: Овчарук Анатолій Миколайович, Овчарук Дмитро Сергійович, Ян Хайян, Гречанюк Микола Іванович, Ліу Йонг, Таран Олександр Юрійович, Гасик Михайло Іванович, Фільов Олександр Сергійович, Тутик Валерій Анатолієвич, Патяка В'ячеслав Олексійович, Ян Міншен
МПК: C30B 13/00, C30B 13/22, C01B 33/037, C30B 13/16 ...
Мітки: шкідливих, домішок, очищення, спосіб, кремнію
Формула / Реферат:
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок, що включає розігрів неочищеного кремнію на першому етапі при тиску нижче атмосферного до утворення розплаву з використанням висококонцентрованого джерела енергії та обробку газовою сумішшю, яка включає інертний газ, відновлювальний газ та пари води, обробку поверхні розплаву електронним променем на другому етапі, який відрізняється тим, що здійснюють третій етап очищення, на якому проводять...