Ян Міншен
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок
Номер патенту: 96809
Опубліковано: 25.02.2015
Автори: Патяка В'ячеслав Олексійович, Ян Хайян, Ян Міншен, Овчарук Дмитро Сергійович, Гасик Михайло Іванович, Гречанюк Микола Іванович, Таран Олександр Юрійович, Ліу Йонг, Тутик Валерій Анатолієвич, Фільов Олександр Сергійович, Овчарук Анатолій Миколайович
МПК: C30B 13/00, C30B 13/16, C01B 33/037 ...
Мітки: кремнію, спосіб, очищення, домішок, шкідливих
Формула / Реферат:
Спосіб очищення кремнію від шкідливих домішок, що включає розігрів неочищеного кремнію на першому етапі при тиску нижче атмосферного до утворення розплаву з використанням висококонцентрованого джерела енергії та обробку газовою сумішшю, яка включає інертний газ, відновлювальний газ та пари води, обробку поверхні розплаву електронним променем на другому етапі, який відрізняється тим, що здійснюють третій етап очищення, на якому проводять...