Вікулін Олександр Олександрович

Номер патенту: 11383

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Бідник Дмитро Ілліч, Леваднюк Едуард Нікодимович, Школьний Арнольд Костянтинович, Ірінархов Сергій Михайлович, Вікулін Олександр Олександрович, Терентьєв Борис Михайлович

МПК: G21H 5/00

Мітки: напівпровідникових, радіаційного, регулювання, альфа-установка, структур, параметрів, електрофізичних

Формула / Реферат:

I. Альфа-установка для радиационного регу­лирования электрофизических параметров полу­проводниковых структур, состоящая из камеры облучения с облучателсм на основе радионуклидных источников альфа-излучения, держателя объ­ектов облучения, расположенного над облучателем, и системы перемещения объектов об­лучения, отличающаяся тем, что, с целью повы­шения эффективности радиационного воздействия на объекты облучения и радиационной безопасно­сти...