Альфа-установка для радіаційного регулювання електрофізичних параметрів напівпровідникових структур

ДЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЗ № СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН (19) SIL1407 (50 4 G 21 Н 5/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 409072J/24-25 (22) 15.07.86 (72) Б.М.Терентьев, А.А.Внкулин, С.М.Ирниархов, Э.Н.Леваднюк, А.К.Школьный и Д.И.Биднык (53) 621.039.8(088.8) (56) Косицын В.Ф., Федоринин А.С. Пути образования и интенсивность сопутствующего излучения высокоактивных альфа-источников на основе г58 Ри. - Сб. "ВАНТ", сер. РТ, вып. 23. М.; Энергоатомиздат, 1982, с. 8791. ' ' Терентьев Б.М. и др. Йсследова-- } тельская радиационно-фнзичеекая установка АОИС-20 для обработки альфаизлучением изделий микроэлектроники.*" Сб. "ВАНТ", сер. РТ, вып. 24. М.: Энергоиэдат, 1982, с. 5-8. 24-88 (54) АЛЬФА-УСТАНОВКА ДЛЯ РАДИАЦИОННОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР (57) Изобретение относится к устройствам для радиационной обработки альфа-частицами полупроводниковых структур. Целью изобретения является повышение эффективности радиационного воздействия на объект облучения и радиационной безопасности при эксплуатации. Установка содержит камеру облучения с вакуумируемым корпусом, облучатель с гнездами для альфа-источников, защитными створками и каналами для хладагента системы охлаждения облучателя, держатель с гнездами для объектов облучения, систему подогрева облучаемых полупроводниковых структур, электропривод для вращения держателя над облучателем и напускатель инертного газа. 4 з.п. ф-лы, 2 ил. С 1 407312 Изобретение относится к устройствам для радиационной обработки альфачастицами полупроводниковых структур. Целью изобретения является повышение эффективности радиационного воздействия на объекты облучения и радиационной безопасности при эксплуа- * тации. На фиг.1 показана предложенная альфа-установка, разрез по вертикали; на фиг.2 - облучатель с опущенными защитными створками. Альфа-установка содержит камеру облучения 1 с вакуумируемым корпусом, 15 включающим съемный колпак 2, облучатель 3 с гнездами 4 для радионуклидных альфа-источников, защитными створками 5 и каналами 6 для хладагента, держатель 7 с гнездами 8 дня объектов облучения, электропривод 9, привод 10, системы И и 12 подогрева объектов облучения и напускання инерт ного газа, соответственно. Подвижный 25 колпак изготавливается из нержавеющей стали толщиной 3 мм с окном из оргстекла для визуального наблюдения за работой узлов установки. Гнезда для размещения альфа-источников изготовлены в верчней полости облучателяs* 30 представляющего собой стальную плиту» расположенную в нижнем торце камеры облучения, Гнрзда с источниками альфа-излучения закрываются сверху защитными складывающимися створками. 35 Б нижней части облучателя проточены криволинейные ханаиы, имеющие вход и выход для циркуляции хладагента, например проточной воды. Внутри камеры облучения на оси размещен над облуча- 40 телем держатель с объектами облучения, вращающийся вокруг своей оси с помощью электропривода 9, установленного на наружной поверхности коппака. Система подогрева объектов облучения закреплена над держателем, і В устройстве с целью увеличения интенсивности альфа-частиц, достигающих объектов облучения, оптимизируется расстояние между держателем с объектами и облучателем* В положении экспозиции объектов это расстояние может выбираться из диапазона 2-30 см и обеспечивается конструкцией защитных складывающихся створог 5 с минимальными зазорами между держателем объектов и облучателем для альфа-источников . Установка снабжена пультом управления, системой блокировки и дозиметрического контроля, которые являются стандартными и поэтому не показаны» Установка работает следующим образом. В положении загрузки-выгрузки объектов облучения колпак 2 вакуумной камеры облучения (фиг.1) должен быть поднят. Облучатель 3 с источниками находится в положении хранения, при этом защитные створки 5 занимают горизонтальное положение. Объекты облучения по одному укладываются последовательно в гнезда 8 держателя 7. Держатель находится на заданном расстоянии над облучателем. После окончания загрузки объектов колпак опускается в рабочем положение. Включается форвакуумный насос и достигается необходимая степень разрежения воздуха или инертного газа. Включается система подогрева объектов облучения, достигается требуемая температура подогрева. Одновременно включается система охлаждения, хладагент поступает в криволинейные каналы 6 облучателя, создавая допустимую техническими условиями температуру эксплуатации источников излучения. Включается электропривод 9 вращения держателя с объектами облучения дня достижения требуемой равномерности облучения объектов альфа-частицами. В положении облучения объектов защитные створки 5 с помощью привода 10 переводятся в вертикальное положение. Для уменьшения расстояния между держателем и облучателем защитные створки выполнены из двух частей, шарнирно соединенных между собой и складывающихся в вертикальном положении. После открывания защитных створок облучателя фиксируется время начала экспозиции. После окончания экспозиции перечисленные операции проводятся в обратном порядке. После прекращения работы камера установки заполняется инертным газом. Допускается также хранение источников при степени разрежения воздуха в рабочей камере ~~~ мм рт.ст. Установка предназначена для радиационного формирования электрически активных областей полупроводниковых структур (в том числе многослойных, варизонных и периодических струк 1407312 тур) и регулирования электрофизичесумируемым корпусом, соединенным с ких параметров изделий микроэлектрофорвакуумным насосом, облучатель усники посредством локального воздейсттановлен в нижней части камеры и вия на их приповерхностные слои потоснабжен защитными створками и с и с т е ком сильно ионизирующего излучения мой охлаждения, а держатель объектов альфа-частиц с энергией 4-5 МэВ от облучения расположен над облучателем радионуклидных альфа-источников. Уси снабжен системой подогрева. тановка может использоваться как в 2. Альфа-установка по п . 1 , о т технологических целях, так и для фил и ч а ю щ а я с я тем, что держазических исследований радиационных тель объектов облучения выполнен в дефектов при создании новых полупроформе диска, имеющего возможность водниковых приборов, отработки термовращения вокруг вертикальной о с и , и радиационных процессов: воздействия снабжен концентрическими рядами гнезд альфа-частиц при повышении температу- їв для размещения объектов облучения 3 . Альфа-установка по п . 1 , о т ры одновременно с изменением состава л и ч а ю щ а я с я "тем, что' облучаи разрежения газовой среды. тель выполнен в виде диска с располоФ о р м у л а и з о б р е т е н и я женным на нем набором источников, а 20 его защитные створки выполнены в виI . Альфа-установка для радиационде двух шарнирно соединенных металного регулирования электрофизических лических пластин. параметров полупроводниковых струк4. Альфа-установка по п . 1 , о т тур, состоящая из камеры облучения с л и ч а ю щ а я с я тем, что с и с т е облучателем на основе радионуклидных 25 ма охлаждения выполнена в виде канаисточников альфа-излучения„ держателов в нижней части облучателя, имеюля объектов облучения, расположеннощих входное и выходное отверстия для го над облучателем, и системы перемеподачи и вывода хладагента. щения объектов облучения, о т л и 5 . А л ь ф а - у с т а н о в к а по п . 1 , о т ч а ю щ а я ся тем, ч т о , с целью 30 л и ч а ю щ а я с я тем, ч т о , с повышения эффективности радиационноцелью повышения сохранности источниго воздействия на объекты облучения ков в нерабочем режиме; она снабжена и радиационной безопасности при э к с напускателем для заполнения камеры плуатации, установка снабжена вакуоблучения инертным газом. '1407312 Редактор Т.Орловская Заказ 599/ДСП Составитель И.Линге Техред Л.Сердюкова Корректор Л.Патай Тираж 202 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4