Воробець Олександр Іванович
Спосіб виготовлення діода шотткі на основі високоомного телуриду кадмію
Номер патенту: 17438
Опубліковано: 15.09.2006
Автори: Добровольський Юрій Георгійович, Воробець Олександр Іванович, Воробець Георгій Іванович
МПК: H01L 31/18
Мітки: виготовлення, шотткі, спосіб, основі, кадмію, телуриду, діода, високоомного
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення діода Шотткі на основі телуриду кадмію, який включає механічну та хімічну обробку пластин телуриду кадмію, створення бар'єра Шотткі та омічних контактів вакуумним напиленням та лазерного опромінювання, який відрізняється тим, що лазерне опромінювання з певною довжиною хвилі здійснюють в режимі модульованої добротності в квазіадіабатичних умовах при використанні серії з 20 імпульсів тривалістю