Янус Олександр Володимірович

Номер патенту: 29316

Опубліковано: 16.10.2000

Автори: Крітська Тетяна Володимірівна, Янус Олександр Володимірович, П'ятигорець Роман Олександрович, Бахрушин Володимир Євгенович

МПК: H01L 21/223

Мітки: композицій, кремнієвих, отримання, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб отримання кремнієвих N+-P-N композицій, що включає вирощування кристалу кремнію, який містить 1*1016-1*1020см-3 легувалСпосіб отримання кремнієвих N+-P-N композицій, що включає вирощування кристалу кремнію, який містить 1*1016-1*1020см-3 легувальної донорної домішки, виготовлення із нього кремнієвої підкладки п+- типу та формування високоомних шарів кремнію р- та n-типів шляхом епітаксійного осадження з газової фази, який відрізняється...