П’ятигорець Роман Олександрович
Спосіб отримання кремнієвих n+ -p -n композицій
Номер патенту: 29316
Опубліковано: 16.10.2000
Автори: Янус Олександр Володимірович, Крітська Тетяна Володимірівна, Бахрушин Володимир Євгенович, П'ятигорець Роман Олександрович
МПК: H01L 21/223
Мітки: композицій, спосіб, кремнієвих, отримання
Формула / Реферат:
Спосіб отримання кремнієвих N+-P-N композицій, що включає вирощування кристалу кремнію, який містить 1*1016-1*1020см-3 легувалСпосіб отримання кремнієвих N+-P-N композицій, що включає вирощування кристалу кремнію, який містить 1*1016-1*1020см-3 легувальної донорної домішки, виготовлення із нього кремнієвої підкладки п+- типу та формування високоомних шарів кремнію р- та n-типів шляхом епітаксійного осадження з газової фази, який відрізняється...