Яшник Володимир Макарович

Номер патенту: 16341

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Іващук Анатолій Васильович, Корнус Володимир Григорович, Яшник Володимир Макарович, Кохан Валентин Петрович

МПК: C23C 14/24

Мітки: вакуумі, випарник, напилення, речовини

Формула / Реферат:

Испаритель для напыления вещества в ваку­уме, содержащий систему щелевых капилляров, установленных с зазором один относительно дру­гого и выполненных из материала, смачиваемого расплавом напыляемого вещества) нагреватель, охватывающий систему щелевых капилляров, от­личающийся тем, что, с целью упрощения конст­рукции испарителя при улучшении качества напыляемой пленки, нагреватель выполнен в виде стакана, а система щелевых капилляров...