Корнус Володимир Григорович

Номер патенту: 16340

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Комаров Володимир Львович, Петровський Олег Іванович, Іващук Анатолій Васильович, Кохан Валентин Петрович, Корнус Володимир Григорович

МПК: C23C 14/26

Мітки: вакуумі, напилення, пристрій, речовини

Формула / Реферат:

Устройство для напыления вещества в ваку­уме по авт. св. № 1473369, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества напыляемой пленки за счет увеличения скорости напыления, каждая последующая от центра спирали точка верхнего торца спирали выше, чем предыдущая, причем ве­личина подъема каждого последующего витка вы­бирается из соотношенияД< < а Ї і - він в,где д \ — величина подъема витка, м; а - капиллярная постоянная...

Номер патенту: 16341

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Іващук Анатолій Васильович, Корнус Володимир Григорович, Яшник Володимир Макарович, Кохан Валентин Петрович

МПК: C23C 14/24

Мітки: напилення, випарник, вакуумі, речовини

Формула / Реферат:

Испаритель для напыления вещества в ваку­уме, содержащий систему щелевых капилляров, установленных с зазором один относительно дру­гого и выполненных из материала, смачиваемого расплавом напыляемого вещества) нагреватель, охватывающий систему щелевых капилляров, от­личающийся тем, что, с целью упрощения конст­рукции испарителя при улучшении качества напыляемой пленки, нагреватель выполнен в виде стакана, а система щелевых капилляров...