Пристрій для спікання анодів конденсаторів

Изобретение относится к оборудованию для производства изделий электронной техники и может быть использовано при изготовлении оксидно-полупроводниковых и электролитических конденсаторов из вентильных металлов. Известно устройство для спекания анодов конденсаторов, содержащее водоохлаждаемый корпус, в котором размещено нагревательное средство для соединения с системами вакуумной откачки и подачи инертного газа и ловушку [1]. Недостатком этого устройства является то, что на внутреннюю охлаждаемую поверхность корпуса в начальной стадии нагрева, когда идет большое газовыделение, осаждаются продукты выделения и их вторичная возгонка при дальнейшем повышении температуры приводит к увеличению времени откачки. Для повышения производительности устройство, содержащее водоохлаждаемый корпус, в котором размещено нагревательное средство для соединения с системами вакуумной откачки и подачи инертного газа и ловушку, снабжено дозировочным средством, а нагревательное средство соединено с ловушкой патрубком с расположенным внутри него нагревателем. На чертеже изображен общий вид предлагаемого устройства. Устройство содержит водоохлаждаемый корпус 1, внутри которого размещено нагревательное средство 2, патрубок 3 с нагревателем 4, ловушку 5 для улавли вания продуктов разложения изделий 6, откачную систему 7 продуктов разложения, дозировочное средство 8 подачи в корпус 1 инертного газа, систему 9 вакуумной откачки из корпуса 1 в процессе нагрева, верхнюю крышку 10, вакуумные клапана 11, 12 и вакуумный затвор 13. Устройство работает следующим образом. Обрабатываемые изделия 6 устанавливаются в нагревательное средство 2. После загрузки верхняя крышка 10 водоохлаждаемого корпуса 1 закрывается и включается и выключается откачная система 7, открывается вакуумный вентиль 11 и включается нагреватель 4 патрубка 3 и производится откачка газов из камеры 1 до необходимого остаточного давления. Включается дозировочное средство 8 подачи инертного газа в камеру 1. Подается электропитание к нагревательному средству 2 по заданной программе. Продукты разложения связующего материала изделий 6 из нагревательного средства 2 через прогреваемый патрубок 3 поступают в ловушку 5, минуя камеру 1, дач / счет того, что в камере 1 давление выше, чей внутри нагревательного средства 2. При достижении необходимой температуры (когда продукты разложения связующего материала удаляются из изделий 6), закрывается вакуумный вентиль 11, выключается обогрев патрубка 3, отключается дозировочное средство 8. Открывается вакуумный вентиль 12 предварительной откачки высоковакуумной системы 9. При достижении необходимого предварительного давления закрывается вакуумный вентиль 12 и открывается вакуумный затвор 13. После достижения заданного вакуума температура изделий 6 повышается до температуры спекания, затем производится выдержка температуры и отключение электропитания нагревательного средства 2, которое остывает вместе с изделиями 6. После чего последние выгружаются из камеры 1. Учитывая, что продукты разложения связующего материала изделий 6 не осаждаются на внутренней поверхности охлаждаемых стенок камеры и высоковакуумной системы 8, последняя откачивает заданный вакуум быстрее и, следовательно, увеличивается производительность устройства.