Багатошарова плівка vb2-vn
Номер патенту: 12385
Опубліковано: 15.02.2006
Автори: Ігнатенко Петро Іванович, Ступак Володимир Абрамович, Петухов Вадим Вікторович, Гончаров Олександр Андрійович
Формула / Реферат
Багатошарова плівка VB2–VN, що складається зі зносостійких шарів, яка відрізняється тим, що один із шарів покриття - нижній (борид ванадію) має модуль пружності 190-230 ГПа, верхній шар - нітрид ванадію, має твердість 30-33 ГПа, та виготовляються на одній одиниці устаткування в одному вакуумно-технологічному циклі.
Текст
Багатошарова плівка VB2–VN, що складається зі зносостійких шарів, яка відрізняється тим, що один із шарів покриття - нижній (борид ванадію) має модуль пружності 190-230 ГПа, верхній шар нітрид ванадію, має твердість 30-33 ГПа, та виготовляються на одній одиниці устаткування в одному вакуумно-технологічному циклі. (19) (21) u200504756 (22) 20.05.2005 (24) 15.02.2006 (46) 30.01.2006, Бюл. № 2, 2006 р. (72) Гончаров Олександр Андрійович, Петухов Вадим Вікторович, Ігнатенко Петро Іванович, Ступак Володимир Абрамович (73) Донбаська державна машинобудівна академія 3 12385 4 100АК) і вторинної іонної мас-спектрометрії (МСПриклади здійснення способу 7201) Фазовий склад визначався за допомогою Нанесення плівок проводилося при двох реелектронної мікродифракції і рентгенівської дифжимах нереактивного 1 (у середовищі аргону) і рактометрії з залученням результатів елементного реактивного 2 (азот + аргон ) ВЧ-магнетроного аналізу Здійснювався контроль залишкової атморозпилення, параметри яких приведені в табсфери в камері і складу робочого газу за допомолиці 1. гою газового мас-аналізатора МХ-7304А. Таблиця 1 N Склад като- Ток, Ip, Напруга, Up, Режим п/п ду A B 1 1 VB2 0.28 500 2 1 VB2 0.28 500 3 1 VB2 0.28 500 4 2 VB2 0.26 520 5 2 VB2 0.26 520 6 2 VB2 0.26 520 Час напилення, Фазовий склад плівхв ки 30 VB2 45 VB2 60 VB2 30 VN 45 VN 60 VN Спочатку на очищену і встановлену у вакуумі підкладку наносився шар боріду ванадію (режим 1) протягом 30-60хв, а потім реактивним розпиленням (режим 2) - шар нітриду ванадію протягом такого ж часу. Середня швидкість росту плівки при режимі 1 складала 12нм/хв, при режимі 2-4,4нм/хв. Фізико-механічні властивості отриманих бага Склад робочого газу 100% Аr 100% Аr 100% Аr 20%N2+80%Ar 20%N2+80%Ar 20%N2+80%Ar тошарових плівок приведені в таблиці 2 Параметр Н/Е - індекс пластичності матеріалу, оцінка стійкості матеріалу до пружної деформації руйнування, для оцінки опору матеріалу пластичної деформації застосовується параметр H3/Е2 Параметр - критерій хрупкої мікроміцності. Таблиця 2 Матеріал Товщина плівки hпл, мкм Твердість Н, ГПа підкладки Ст.3 0.7 30 Сталь 45 0.7 33 Використання корисної моделі, що заявляється, дозволяє на нескладній установці в умовах низького вакууму і парціального тиску азоту одержувати в єдиному технологічному циклі багатошарові покриття VB2–VN з заданими фізикомеханічними властивостями. Джерела інформації 1. Штанский Д.В., Левашов Е.А., В.И. Косякин, Дьяконова Н.Б., Лясоцкий И.В. Структура и свойства многокомпонентных тонких пленок на основе Ti-C-N, Ti-Mo-C-N и Ti-B-N // ФММ, 1995, №5 Комп’ютерна верстка В. Мацело Модуль пружності Е, ГПа 226 194 Н/Е Н3/Е2, ГПа 0.13 0.17 0.52 0.95 021 0,166 С.121-132. 2. Верещака А.С. Основные аспекты применения и совершенствования режущих инструментов с износостойкими покрытиями //СТИН-2000. - №9, - с.33-40. 3. Гончаров А.А., Зиновьев Н.И., Мироненко Е.В., Петухов В.В., Терпий Д.Н. //Высокочастотная магнетронная распылительная система на базе установки УВН-75Р-3 Вопросы атомной науки и техники 1998 №5(6), 6(7), с.57. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюA multilayer film vb2-vn
Автори англійськоюHoncharov Oleksandr Andriiovych, Ihnatenko Petro Ivanovych
Назва патенту російськоюМногослойная пленка vb2-vn
Автори російськоюГончаров Александр Андреевич, Игнатенко Петр Иванович
МПК / Мітки
МПК: C23C 16/00
Мітки: плівка, vb2-vn, багатошарова
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/2-12385-bagatosharova-plivka-vb2-vn.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Багатошарова плівка vb2-vn</a>
Попередній патент: Спосіб визначення стресового стану базидіоміцетів та екологічного стану місця їх зростання за вмістом продуктів перекисного окиснення ліпідів
Наступний патент: Ендопротез кровоносної судини для ендоваскулярно-хірургічного лікування аневризм черевної аорти
Випадковий патент: Пристрій для суперфінішування