Спосіб нанесення на поверхню гладких зразків ділильних сіток

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Спосіб нанесення на поверхню гладких зразків ділильних сіток, при якому на поверхню зразка наносять світлочутливе захисне покриття з подальшим його експонуванням через оригінал ділильної сітки та наступним отриманням структури ділильної сітки, який відрізняється тим, що як світлочутливе захисне покриття використовують лак-фоторезист, а структуру ділильної сітки отримують шляхом електрохімічного контурного травлення незахищених ділянок робочої поверхні зразка в натрій хлоридно-фосфатній суміші при температурі активного середовища 18-25 °С і густині струму 2-4 А/дм2 та часі проходження струму 2-3 хв.

Текст

Спосіб нанесення на поверхню гладких зразків ділильних сіток, при якому на поверхню зразка наносять світлочутли ве захисне покриття з пода 3 25367 На попередньо відполіровану та обезжирену поверхню гладкого зразка з шорсткістю не вище 0,63 напилюють лак-фоторезист типу Positiv 20 з наступним просушуванням зразка при температурі 70°С на протязі 20хв. Розміщують оригінал ділильної сітки, виготовлений на прозорій плівці, на поверхню зразка, забезпечуючи його щільне прилягання до поверхні. Зображення ділильної сітки на світлочутливому захисному покриті лаку-фоторезисту, нанесеному на поверхню зразка, отримують контактним способом під ртутно-кварцевою лампою, тривалість експозиції 120с, потім здійснюють проявлення ділильної сітки у ванні з слабким розчином NaOH з наступним промиванням зразка у дистильованій воді та просушуванням. Після висихання 4 зразка його занурюють в натрій хлоридно фосфатну суміш яка містить, г/л: ортофосфорної кислоти Н3РО4 500 хлористого натрію NaCl 80 та проводять електрохімічне контурне травлення незахищених ділянок поверхні зразка при температурі електроліту 18-25°С та густині струму 2-4А/дм 2, час проходження струму 2-3хв. Глибина отриманих лунок ділильної сітки становить 2-3мкм. Така сітка спроможна витримувати значні пластичні деформації, зокрема за високої температури. Їй властиві достатня точність, сталий крок та контрастність. В таблиці наведено приклад параметрів режимів електрохімічного контурного травлення ділильної сітки на поверхні алюмінієвого зразка типу Д16Т. Таблиця Спосіб отримання ділильних сіток на поверхні алюмінієвого зразка марки Д16Т Марка мате- Площа робочої ділянки ріалу зразка, дм 2 Д16Т 0,1* Режим травлення Час протікання Температура реалізації струму, хв процесу, °С 2 20 Густина стр уму, А/дм 2 0,3 *- площа поверхні зразка розраховувалась без урахування площі ділянок захищених лаком - фоторезистом. Виготовлення оригіналу ділильної сітки виконували із використанням фотонабірного апарату Scittexdolev4pressVEG750. Експонування фоточу Комп’ютерна в ерстка В. Мацело тливого покриття проводять з допомогою ртутнокварцевої лампи типу ДРТ-240. Підписне Тираж 26 прим. Міністерство осв іт и і науки України Держав ний департамент інтелектуальної в ласності, вул. Урицького, 45, м. Київ , МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислов ої в ласності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Method for applying a grade grid to a surface

Автори англійською

Yasnii Petro Volodymyrovych, Pyndus Yurii Ivanovych, Fostik Vasyl Bohdanovych

Назва патенту російською

Способ нанесения делительной сетки на поверхность

Автори російською

Ясний Петр Владимирович, Пиндус Юрий Иванович, Фостик Василий Богданович

МПК / Мітки

МПК: G01B 11/16

Мітки: ділильних, гладких, нанесення, спосіб, поверхню, зразків, сіток

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-25367-sposib-nanesennya-na-poverkhnyu-gladkikh-zrazkiv-dililnikh-sitok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб нанесення на поверхню гладких зразків ділильних сіток</a>

Подібні патенти