Пристрій для нанесення захисних покриттів у вакуумі

Пристрій для нанесення захисних покриттів у вакуумі, що містить реакційну камеру та герметично з'єднаний з нею технологічний вузол, який відрізняється тим, що технологічний вузол виконаний у вигляді перетворювача манометричного іонізаційного (ПМІ-2) зі штуцером для подачі реакційного газу. (19) (21) u200902785 (22) 25.03.2009 (24) 25.08.2009 (46) 25.08.2009, Бюл.№ 16, 2009 р. (72) ЛОБАНОВ ВАЛЕНТИН ІВАНОВИЧ, КУРИЛО НАДІЯ АНАТОЛІЇВНА (73) НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ УКРАЇНИ "КИЇВСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ" 3 43637 ровуючий елемент (титан), герметизують, вакуумують до тиску 1,3 10-3-10-7 Па, нагрівають до температури насичення 100-105°С. Азот подають у камеру до тиску 0,10-0,13 Па. Проводять ізотермічну витримку при температурі насичення на протязі 0,5-1,0 години. В результаті подачі реакційного газу через ПМІ-2 при його постійній роботі відбувається підвищення ступіня дисоціації азоту, формується покриття TiN більш стехіометричного складу, що призводить до зниження питомого поверхневого опору покриття. Підвищення ступіня дисоціації здійснюється за рахунок того, що електрони, емітовані катодом, під дією прискорюючого електричного поля спрямовуються до позитивно зарядженого анода. У зв'язку з тим, що анод має велику проникливість (за рахунок спіральної форми), значна частина електронів пролітає в простір катод - анод - колектор, де і відбувається дисоціація молекул газу. При подальшому русі електрони гальмуються і за рахунок того, що колектор по відношенню до аноду має від'ємний потенціал (-30 В), електрони повертаються до аноду. Таким чином, частина електронів здійснить декілька коливань у просторі анод - колектор перш ніж потрапить на анод. Завдяки таким пролітним коливанням збільшується шлях та час життя електронів, що призводить до підвищення ступіня дисоціації молекул азоту в об'ємі ПМІ-2 та реакційної камери. Комп’ютерна верстка Л. Купенко 4 Приклад З метою одержання плівок нітриду титану на поверхні будівельного скла з властивостями теплозахисту використовувався ПМІ-2 з триелектродною системою розпилу реакційного газу та вдосконаленою конструкцією (штуцером для подачі азоту). При ввімкненні ПМІ-2 відбувається подача реакційного гачу. Основною характеристикою тепловідбивного скла, модифікованого покриттям, є питомий поверхневий опір. Експеримент показав, що за звичайним методом подачі азоту питомий поверхневий опір скла складав 200 Ом/ . При використанні ПМІ-2 для подачі азоту зі зміненою конструкцією питомий поверхневий опір скла дорівнює 120-140 Ом/, який говорить про стехіометричний склад отриманого на поверхні покриття TiN, що зумовлено високою ступінню дисоціації молекул азоту. Запропонований прилад простий та економічний, не вимагає від обслуговуючого персоналу високої кваліфікації, вибухобезпечний. Джерела інформації: 1. Шермергор Т. Д., Стрельцова Н. Н. Пленочные пьезоэлектрики. - М.: Радио и связь, 1986. 136с: ил., стр. 27 2. Шермергор Т. Д., Стрельцова Н. Н. Пленочные пьезоэлектрики. - М.: Радио и связь, 1986. 136с: ил., стр. 28 Підписне Тираж 28 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601